[发明专利]检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及将半导体元件作为检查对象物进行检查的检查装置。

背景技术

已知有对LED芯片等半导体元件，通过边照射各种照明光边用观察光学系统观察该半导体元件，从而将该半导体元件作为检查对象物进行检查的检查装置（例如，参照专利文献1）。在该检查装置中，作为各种照明光之一，使用来自从检查对象物进行观察从观察光学系统的相反侧对该检查对象物进行照明的透射照明机构的透射照明。

在此，常见为半导体元件在保持粘贴于带（薄膜）的状态下从晶片切出，并以该带保持于环状部件的状态进行处理。因此，在上述的检查装置中，使用透射带的光作为透射照明，对于粘贴于保持在环状部件的带的状态的检查对象物，边照射各种照明光边进行检查对象物的检查。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－107254号公报。

但是，在带中，当由观察光学系统观察照射了透射照明的状态时，即使是没有粘贴任何部件的状态，也不是均匀的明亮状态，而是存在线状、点状的局部阴暗的部位。这认为是由于在带上附着了尘埃等或产生了粘着剂的斑所引起的。因此，在检查对象物为透明的情况下，在通过观察光学系统的观察中，难以进行由透射照明得到的该检查对象物的信息（轮廓线等）与带中的阴暗部位的判别，即，带的阴暗部位作为噪声成分进行了作用，担心会导致该检查对象物的检查精度的降低。

发明内容

本发明鉴于上述情况而做出的，其目的在于提供一种检查装置，其即使对于粘贴于带的透明的检查对象物也能够通过透射照明来得到正确的信息。

方案一所述的发明是，一种检查装置，其具备：观察光学系统，其将观察光轴上的规定位置设为观察面；反射照明机构，其从该观察光学系统侧对所述观察面进行照明；透射照明机构，其从所述观察光学系统的相反侧对所述观察面进行照明，所述检查装置其特征在于，所述透射照明机构具有：射出部，其射出从光源导光的透射光；散射部，其使由该射出部射出的透射光散射，该散射部在所述透射照明机构的透射光轴方向进行观察距所述观察面隔开规定间隔地设置，以便使所述观察面的透射光成为规定的散射状态。

方案二所述的发明是，根据方案一所述的检查装置，其特征在于，所述规定的散射状态是在使粘贴有检查对象物的带位于所述观察面上且以所述观察光学系统观察照射了来自所述透射照明机构的透射光的所述观察面上的所述带时，使所述带为均匀明亮的状态。

方案三所述的发明是，根据方案一或方案二所述的检查装置，其特征在于，所述透射照明机构具有：透射部件，其允许来自所述射出部的透射光的透射，而且在所述散射部与所述观察面之间设置有规定沿该观察面的平面的平坦面。

方案四所述的发明是，根据方案三所述的检查装置，其特征在于，所述散射部以在所述透射部件中与所述射出部相向的相向面为散射面的方式构成。

方案五所述的发明是，根据方案四所述的检查装置，其特征在于，还具备能从所述透射照明机构侧保持粘贴有所述检查对象物的所述带的筒状的保持台，所述透射部件呈以通过保持于所述保持台而埋入该保持台的内侧的方式延伸的板状，所述射出部具有降低射出的透射光的扩散的聚光光学部件，以便使透射光以规定的点区域向所述透射部件的所述散射部入射。

方案六所述的发明是，根据方案五所述的检查装置，其特征在于，所述聚光光学部件是还具有将在与透射光轴正交的剖面观察的光量分布均匀化的功能的棒状积分器（rod integrator）光学部件。

方案七所述的发明是，根据方案四所述的检查装置，其特征在于，所述透射照明机构具有连结所述射出部和所述透射部件并同时将其保持于内侧的筒状保持部。

方案八所述的发明是，根据方案七所述的检查装置，其特征在于，所述射出部具有将在与透射光轴正交的剖面观察的光量分布均匀化的积分器光学部件。

根据本发明的检查装置，通过散射部引起的散射效果，在利用观察光学系统的观察中，能够除去照射了来自透射照明机构的透射光的带的噪声成分，因此，可使用透射照明机构正确地得到粘贴于带的检查对象物的信息。

另外，在检查装置中，在透射光轴方向观察，散射部距观察面隔开规定间隔地设置，因此，能够可靠地得到散射效果，因此，能够在利用观察光学系统的观察中可靠地除去照射了来自透射照明机构的透射光的带的噪声成分。