[发明专利]检查装置

权利要求书

1.一种检查装置，其具备：观察光学系统，其将观察光轴上的规定位置设为观察面；反射照明机构，其从该观察光学系统侧对所述观察面进行照明；以及透射照明机构，其从所述观察光学系统的相反侧对所述观察面进行照明，所述检查装置其特征在于，

所述透射照明机构具有：射出部，其射出从光源导光的透射光；以及散射部，其使由该射出部射出的透射光散射，

该散射部在所述透射照明机构的透射光轴方向进行观察距所述观察面隔开规定间隔地设置，以便使所述观察面的透射光成为规定的散射状态。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述规定的散射状态是在使粘贴有检查对象物的带位于所述观察面上且以所述观察光学系统观察照射了来自所述透射照明机构的透射光的所述观察面上的所述带时，使所述带为均匀明亮的状态。

3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，

所述透射照明机构具有：透射部件，其允许来自所述射出部的透射光的透射，而且在所述散射部与所述观察面之间设置有规定沿该观察面的平面的平坦面。

4.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于，

所述散射部以在所述透射部件中与所述射出部相向的相向面为散射面的方式构成。

5.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，

还具备能从所述透射照明机构侧保持粘贴有所述检查对象物的所述带的筒状的保持台，

所述透射部件呈以通过保持于所述保持台而埋入该保持台的内侧的方式延伸的板状，

所述射出部具有降低射出的透射光的扩散的聚光光学部件，以便使透射光以规定的点区域向所述透射部件的所述散射部入射。

6.根据权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

所述聚光光学部件是还具有将在与透射光轴正交的剖面观察的光量分布均匀化的功能的棒状积分器光学部件。

7.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，

所述透射照明机构具有连结所述射出部和所述透射部件并同时将其保持于内侧的筒状保持部。

8.根据权利要求7所述的检查装置，其特征在于，

所述射出部具有将在与透射光轴正交的剖面观察的光量分布均匀化的积分器光学部件。