[发明专利]用于形成薄膜的方法及旋转系统

摘要

一种用于形成薄膜的方法及旋转系统，本发明的系统包括一旋转壳体、一承载于旋转壳体的承座部件以及一位于承座部件下方且用于驱动旋转壳体和承座部件旋转于一承座轴的驱动装置。此外，本系统还包括至少一固定座齿轮以及一中心齿轮。至少一固定座齿轮位于承座部件上与承座部件旋转于承座轴且支撑至少一基板。中心齿轮与至少一固定座齿轮相啮合，其用于在至少一固定座齿轮旋转于承座轴时使至少一固定座齿轮分别旋转于至少一固定座轴。

主权项

一种用于在至少一基板上形成一层或多层至少一种材料的系统，其特征在于：该系统包括一旋转壳体、一承座部件、一驱动装置、至少一固定座齿轮以及一中心齿轮，该承座部件承载于该旋转壳体，该驱动装置位于该承座部件下方，其用于驱动该旋转壳体和该承座部件旋转于一承座轴，该至少一固定座齿轮位于该承座部件上，与该承座部件一同旋转于该承座轴且用于支撑该至少一基板，该中心齿轮与该至少一固定座齿轮相啮合，其用于在该至少一固定座齿轮旋转于该承座轴时使该至少一固定座齿轮分别旋转于该至少一固定座轴。