[发明专利]用于形成薄膜的方法及旋转系统

权利要求书

1.一种用于在至少一基板上形成一层或多层至少一种材料的系统，其特征在于：该系统包括一旋转壳体、一承座部件、一驱动装置、至少一固定座齿轮以及一中心齿轮，该承座部件承载于该旋转壳体，该驱动装置位于该承座部件下方，其用于驱动该旋转壳体和该承座部件旋转于一承座轴，该至少一固定座齿轮位于该承座部件上，与该承座部件一同旋转于该承座轴且用于支撑该至少一基板，该中心齿轮与该至少一固定座齿轮相啮合，其用于在该至少一固定座齿轮旋转于该承座轴时使该至少一固定座齿轮分别旋转于该至少一固定座轴。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于：该系统更包括至少一基板固定座分别连接于该至少一固定座齿轮，且与该至少一固定座齿轮一同旋转于该承座轴，其中该至少一固定座齿轮借由该至少一基板固定座支撑该至少一基板，该至少一基板固定座用于承载该至少一基板。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于：该中心齿轮可设定成在该至少一固定座齿轮旋转于该承座轴时使该至少一基板固定座与该至少一固定座齿轮一同旋转于该至少一固定座轴。

4.如权利要求2所述的系统，其特征在于：该至少一固定座齿轮的每一个都具有一用于支撑一对应基板固定座的中空环，该对应基板固定座选自该至少一基板固定座。

5.如权利要求1所述的系统，其特征在于：该中心齿轮可设定成在该至少一固定座齿轮旋转于该承座轴时不旋转于该承座轴。

6.如权利要求1所述的系统，其特征在于：该中心齿轮可设定成在该至少一固定座齿轮以一第二角速度沿一第二方向旋转于该承座轴时以一第一角速度沿一第一方向旋转于该承座轴。

7.如权利要求6所述的系统，其特征在于：该第一方向不同于该第二方向，且该第一角速度不同于该第二角速度。

8.如权利要求1所述的系统，其特征在于：该驱动装置包括一位于该承座部件下方且连接该旋转壳体的第一齿轮，以及一与该第一齿轮相啮合且用于使该第一齿轮旋转于该承座轴的第二齿轮。

9.如权利要求8所述的系统，其特征在于：该系统更包括一用于驱动该第二齿轮以使该第一齿轮旋转于该承座轴的马达。

10.如权利要求1所述的系统，其特征在于：该系统更包括至少一球轴承，其用于支撑该至少一固定座齿轮且使该至少一固定座齿轮分别旋转于该至少一固定座轴。

11.如权利要求10所述的系统，其特征在于：该系统更包括至少一固定座环，其连接于该承座部件且分别位于该承座部件和该至少一固定座齿轮之间。

12.如权利要求11所述的系统，其特征在于：该至少一球轴承中的每一个均位于一对应固定座环的一第一沟槽和一对应固定座齿轮的一第二沟槽之间，该对应固定座环选自该至少一固定座环，该对应固定座齿轮选自该至少一固定座齿轮，该第一沟槽位于该第二沟槽下方。

13.如权利要求10所述的系统，其特征在于：该系统更包括：

至少一基板固定座分别连接于该至少一固定座齿轮，与该至少一固定座齿轮一同旋转于该承座轴且用于承载该至少一基板；

至少一外环连接该承座部件；以及

至少一内环分别连接该至少一基板固定座。

14.如权利要求13所述的系统，其特征在于：该至少一球轴承中的每一个均位于一对应外环的一外沟槽和一对应内环的一内沟槽之间，该对应外环选自该至少一外环，该对应内环选自该至少一内环。

15.如权利要求14所述的系统，其特征在于：该至少一内环与该至少一固定座齿轮不直接接触。