[发明专利]液晶显示屏用铬蚀刻液及其制备方法有效
| 申请号： | 201110239175.4 | 申请日： | 2011-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN102277573A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 冯卫文 | 申请（专利权）人： | 绵阳艾萨斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 621000 四川省绵*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种液晶显示屏用铬蚀刻液及其制备方法。该蚀刻液，包括硝酸铈铵、邻氟苯甲酸、双氧水和水。所述硝酸铈铵占所述蚀刻液总重的5-30％，优选10-25％，更优选20％；所述邻氟苯甲酸占所述蚀刻液总重的0.1-10％，优选1-5％；所述双氧水占所述蚀刻液总重的1-15％，优选5-10％；余量为所述水。本发明提供的蚀刻液，能够在不发生抗蚀涂层渗透的情况下进行蚀刻，显著提高铬金属膜的蚀刻速度，具有蚀刻速度可控性，有效抑制抗蚀保护层的劣化，得到表面平坦光滑的铬金属膜配线，具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶显示屏 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液，包括硝酸铈铵、邻氟苯甲酸、双氧水和水。
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