[发明专利]液晶显示屏用铬蚀刻液及其制备方法有效
| 申请号： | 201110239175.4 | 申请日： | 2011-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN102277573A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 冯卫文 | 申请（专利权）人： | 绵阳艾萨斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 621000 四川省绵*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 液晶显示屏 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
1.一种蚀刻液，包括硝酸铈铵、邻氟苯甲酸、双氧水和水。
2.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于：所述蚀刻液是由硝酸铈铵、邻氟苯甲酸、双氧水和水组成。
3.根据权利要求1或2所述的蚀刻液，其特征在于：所述水为去离子水。
4.根据权利要求1-3任一所述的蚀刻液，其特征在于：所述硝酸铈铵占所述蚀刻液总重的5-30％，优选10-25％，更优选20％；
所述邻氟苯甲酸占所述蚀刻液总重的0.1-10％，优选1-5％；
所述双氧水占所述蚀刻液总重的1-15％，优选5-10％；
余量为所述水。
5.一种制备权利要求1-4任一所述蚀刻液的方法，包括如下步骤：将所述硝酸铈铵、邻氟苯甲酸、双氧水和水混匀，得到所述蚀刻液。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：所述水为去离子水。
7.根据权利要求5或6所述的蚀刻液，其特征在于：所述硝酸铈铵占所述蚀刻液总重的5-30％，优选10-25％，更优选20％；
所述邻氟苯甲酸占所述蚀刻液总重的0.1-10％，优选1-5％；
所述双氧水占所述蚀刻液总重的1-15％，优选5-10％；
余量为所述水。
8.根据权利要求5-7任一所述的方法，其特征在于：所述制备权利1-4任一所述蚀刻液的方法，还包括如下步骤：在所述混匀步骤之后，将所述蚀刻液过滤。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于：所述过滤步骤中，滤网孔径不大于0.2μm，优选0.2μm。
10.权利要求1-4任一所述蚀刻液在蚀刻铬金属膜中的应用。
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