[发明专利]一种预复合高介电常数介质膜铝电极箔的制备方法

摘要

一种预复合高介电常数介质膜铝电极箔的制备方法，属于电子材料技术领域。该方法利用SBA材料的高介电性能以及Al2O3骨架结构，与铁电钛酸钡(BT)材料预先进行复合处理，形成SBA(含β-Al2O3)/BT预复合结构；然后通过传统阳极氧化，借助预复合结构中Al2O3骨架结构对Al、O离子的传导作用，使BT材料以0-3型复合形式存在于高介电常数复合介质膜中，达到控制介质相组分及微观存在状态的目的。本发明工艺简单易控，可与铝电极箔腐蚀、化成工艺生产线实现联动生产，所制备的铝化成箔比容与传统工艺相比在低压段约有40％的提高。

主权项

一种预复合高介电常数介质膜铝电极箔的制备方法，包括以下步骤：步骤1：将硝酸铝与亚硫酸氢钠同时溶解于乙二醇甲醚中，室温下搅拌得到溶液1，控制溶液1浓度在0.1～0.5mol/L之间，其中硝酸铝与亚硫酸氢钠的摩尔比为1∶1～40∶1之间；步骤2：将乙酸钡溶解于冰醋酸中，得到溶液2，控制溶液2浓度在0.1～1mol/L之间；步骤3：将钛酸丁酯溶解于乳酸中，60～80℃下搅拌得到溶液3，控制溶液3浓度在0.1～1mol/L之间；步骤4：将步骤3所得溶液3缓慢加入步骤2所得溶液2中，得到溶液4，控制钛酸丁酯与乙酸钡的摩尔比为1∶1，同时加入冰醋酸调整溶液4的pH值在1～2之间；步骤5：将步骤1所得的溶液1加入步骤4所得溶液4中，得到溶液5，控制硝酸铝与乙酸钡的摩尔比为1∶5～1∶50之间；然后将溶液5陈化处理20小时以上；步骤6：将铝腐蚀箔浸渍于步骤5所得陈化处理后的溶液5中1～10分钟，然后取出，用去离子水清洗并烘干；步骤7：将经步骤6处理过的铝腐蚀箔进行热处理，热处理温度控制在300～550℃之间，热处理时间为2～30分钟；步骤8：将经步骤7处理过的铝腐蚀箔进行阳极氧化处理，最终得到预复合高介电常数介质膜的铝电极箔。