[发明专利]用于制造电路的方法和电路有效
申请号: | 201110226944.7 | 申请日: | 2011-08-09 |
公开(公告)号: | CN102376539B | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | J.布茨;A.弗兰克;F.哈格;H.韦伯;A.赫希斯特;S.克尼斯 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/60;H01L23/64;H01L23/488 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 胡莉莉;李家麟 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及用于制造电路的方法和电路。建议了一种用于制造具有至少一个半导体芯片(130)的电路的方法,该方法包括在所述至少一个半导体芯片(130)的接触侧上形成布线层(360)的步骤,所述至少一个半导体芯片(130)除了接触侧之外被注入有浇注材料(140)。在此,布线层(360)为了构造电线圈而具有至少一个导体环(370)。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 电路 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于制造具有至少一个半导体芯片(130)的电路的方法,其具有如下步骤:在所述至少一个半导体芯片(130)的接触侧上形成(620)中间平面和布线层(360),所述至少一个半导体芯片(130)除了接触侧之外被注入有浇注材料(140),其中中间平面直接与所述至少一个半导体芯片(130)的接触侧邻接地来形成,布线层(360)为了构造电线圈而具有至少一个导体环(370)并且被形成在中间平面上;将所述至少一个半导体芯片(130)以接触侧安置(605)在支承衬底(110)上;给在支承衬底上的所述至少一个半导体芯片注入(610)有浇注材料(140);以及将支承衬底(110)与所述至少一个半导体芯片剥离(615);其中使所述至少一个半导体芯片的接触侧显露,以便提供除了接触侧之外被注入有浇注材料的半导体芯片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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