[发明专利]一种具有高绒度值的透明导电薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及一种具有高绒度值的透明导电薄膜及其制备方法，属于薄膜太阳电池制造技术领域。技术方案是：①在清洗过后的玻璃衬底上，使用磁控溅射工艺制备一层1000nm-1500nm的ZnO透明导电层；②保持气体压强、衬底温度、射频功率不变，单独改变通入反应腔室内的氩气流量，制备ZnO透明导电膜；③将得到的ZnO透明导电膜进行湿法刻蚀；④刻蚀后ZnO透明导电膜经过去离子水清洗，氮气吹干后，即可得到绒面ZnO透明导电膜。本发明的优点和积极效果：高绒度，高光散射能力，高近红外光散射能力，高透过率，低电导，制备的ZnO透明导电薄膜具有高散射透过率、高透过率和低电阻率。

主权项

一种具有高绒度值的透明导电薄膜制备方法，其特征在于包含如下工艺步骤：①在气体压强1‑‑5mTorr氩气环境中，衬底温度0‑‑300℃，射频功率100‑‑300W的条件下，在清洗过后的玻璃衬底上，使用磁控溅射工艺制备一层1000nm‑‑1500nm的ZnO透明导电层；②保持气体压强、衬底温度、射频功率不变，单独改变通入反应腔室内的氩气流量，制备ZnO透明导电膜；③将得到的ZnO透明导电膜进行湿法刻蚀；④刻蚀后ZnO透明导电膜经过去离子水清洗，氮气吹干后，即可得到绒面ZnO透明导电膜。