[发明专利]一种铈掺杂二氧化硅溶胶的制备方法无效
| 申请号： | 201110220443.8 | 申请日： | 2011-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN102344761A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 李家荣;唐会明;徐功涛;马超 | 申请（专利权）人： | 南通海迅天恒纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 卢霞 |
| 地址： | 226600 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铈掺杂二氧化硅溶胶的制备方法，包括以下步骤：1）以离子交换法得到的不同粒径硅溶胶作为晶种，加入一定量的碱催化剂使得晶种的pH值控制在9-10内，升温60-90℃；2）将一定量的硝酸铈铵加纯水溶解成硝酸铈铵水溶液，备用；3)利用水浴加热，将步骤1）中的晶种伴随搅拌升温至60-90℃，加入一定量的硅粉，此后每隔30-45min加入一次一定量的硅粉和一定量步骤2）中配好的硝酸铈铵水溶液；4）按照步骤3）的加料方式，重复加入5-10次；5）加料完毕后，继续搅拌反应1-2h。本发明具有如下技术效果：1、生长周期短、工艺简单，能够应用于CMP技术粗抛过程的研磨抛光；2、对降低设备成本和安全生产十分有益；3、在抛光过程中对介质材料具有更高的去除速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 二氧化硅 溶胶 制备 方法 | ||
【主权项】：
铈掺杂二氧化硅溶胶的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1）以离子交换法得到的不同粒径硅溶胶作为晶种，晶种浓度为1.5‑2wt%，加入一定量的碱催化剂使得晶种的pH值控制在9‑10内，升温60‑90℃；2）将一定量的硝酸铈铵加纯水溶解成硝酸铈铵水溶液，备用；3) 利用水浴加热，将步骤1）中的晶种伴随搅拌升温至60‑90℃，开始加入一定量的硅粉，此后每隔30‑45min加入一次一定量的硅粉和一定量步骤2）中配好的硝酸铈铵水溶液；4）按照步骤3）的加料方式，重复加入5‑10次；5）加料完毕后，继续搅拌反应1‑2h。
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