[发明专利]透射率测定装置、光掩模的透射率检查装置、透射率检查方法有效
| 申请号： | 201110217088.9 | 申请日： | 2011-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN102374977A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 吉田光一郎;田中淳一 | 申请（专利权）人： | HOYA株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59;G03F1/84;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;朱丽娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种透射率测定装置、光掩模的透射率检查装置、透射率检查方法、光掩模制造方法、图案转印方法、光掩模产品，该透射率测定装置能够正确测定细微图案(例如形成于透明基板上的细微的半透光膜图案)的膜透射率。作为解决手段，在测定形成于透明基板上的半透光膜的细微图案等的膜透射率时，将测定波长的光会聚成最小点径(光束腰)并使其透射过作为测定对象物的半透光膜，然后将该透射光全部取入积分球，通过光检测器进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 透射率 测定 装置 光掩模 检查 方法 | ||
【主权项】：
一种透射率测定装置，其具有：射出试验光束的光源装置；会聚上述试验光束并引导至被检体的聚光光学系统；接受透射过上述被检体后的透射光束并检测光量的光检测装置；以及根据由上述光检测装置检测出的光量，求出上述被检体的光透射率的运算装置，其特征在于，上述光源装置、上述聚光光学系统以及上述被检体的相对位置被调节为，使得上述会聚后的试验光束在光束腰附近射入上述被检体的被检查位置。
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