[发明专利]具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪无效
| 申请号： | 201110206948.9 | 申请日： | 2011-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN102305627A | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | 张卫平;关冉;陈文元;吴校生;崔峰;刘武 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种微机电技术领域的具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪，包括：圆盘状压电振子，支撑圆柱，驱动电极，信号检测电极，模态检测电极和电位参考电极；圆盘状压电振子下表面和支撑圆柱相连，支撑圆柱另一端固定在基体上，驱动电极、信号检测电极以及模态检测电极位于圆盘状压电振子的上表面，电位参考电极位于圆盘状压电振子的下表面。本发明采用圆盘状压电振子的特殊模态，利用科氏加速度效应和压电效应来敏感平行于压电振子上下表面内的角速度。本发明采用MEMS微细加工技术，结构简单，能实现双轴检测，加工工艺易于实现，可靠性高，功耗低，抗冲击性强，不需要真空封装，在恶劣的环境下能够很好的工作。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 圆盘 压电 固态 陀螺仪 | ||
【主权项】：
一种具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪，其特征在于包括：圆盘状压电振子，支撑圆柱，驱动电极，信号检测电极，模态检测电极和电位参考电极；圆盘状压电振子下表面和支撑圆柱相连，支撑圆柱另一端固定在基体上，驱动电极、信号检测电极以及模态检测电极位于圆盘状压电振子的上表面，电位参考电极位于圆盘状压电振子的下表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学，未经上海交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110206948.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种考虑多个终端路径再优化路径的车辆导航系统
- 下一篇：全热交换机
