[发明专利]位置控制系统、光刻设备以及控制可移动物体的位置的方法

摘要

本发明提供了一种位置控制系统、光刻设备以及控制可移动物体的位置的方法。位置控制系统用于控制可移动物体的位置，包括：位置测量系统，配置成确定可移动物体的实际位置相关量；设定点产生器，用以提供可移动物体的位置相关的设定点信号；比较器，用以基于实际位置相关量和位置相关的设定点信号的比较提供误差信号；控制器，用以基于误差信号提供控制信号；前馈装置，用以基于所述位置相关的设定点信号提供前馈信号；和一个或更多的致动器，用以基于控制信号和前馈信号作用于可移动物体，其中前馈装置包括干扰力校正表，干扰力校正表包括依赖于可移动物体的位置对施加到可移动物体上的干扰力的估计值。

主权项

一种位置控制系统，用于控制与可移动物体的位置相关的量，所述位置控制系统包括：位置测量系统，配置成确定与所述可移动物体的实际位置相关的量；设定点产生器，配置成提供与所述可移动物体的位置相关的设定点信号；比较器，配置成基于所述与实际位置相关的量和所述与位置相关的设定点信号的比较提供误差信号；控制器，配置成基于所述误差信号提供控制信号；前馈装置，配置成基于所述与位置相关的设定点信号提供前馈信号；和致动器，配置成基于所述控制信号和所述前馈信号作用于所述可移动物体，其中所述前馈装置包括干扰力校正表，所述干扰力校正表包括依赖于所述可移动物体的位置对施加到所述可移动物体上的干扰力的估计值。