[发明专利]横向梳齿型微机械震动能量收集器无效
| 申请号： | 201110197883.6 | 申请日： | 2011-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN102874736A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 欧毅;陈大鹏;叶甜春;刘宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00;F03G7/08 |
| 代理公司： | 北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种横向梳齿型微机械震动能量收集器，包括质量块(100)、外框架(200)、梳齿结构(101、205)、回折梁(201、202、203、204)、震动限位器(301、302)，其特征在于：回折梁(201、202、203、204)将质量块(100)连接在外框架(200)上。依照本发明的横向梳齿型微机械震动能量收集器，可以高效收集和转化外部震动源为电能，使用寿命长，空间体积小，采用常规微电子工艺可以批量加工，因此制造成本低、转化效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 横向 梳齿 微机 震动 能量 收集 | ||
【主权项】：
一种横向梳齿型微机械震动能量收集器，包括质量块(100)、外框架(200)、梳齿结构(101、205)、回折梁(201、202、203、204)、震动限位器(301、302)，其特征在于：回折梁(201、202、203、204)将质量块(100)连接在外框架(200)上。
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