[发明专利]一种新型MEMS射流转子陀螺

摘要

本发明公开了一种新型的MEMS射流转子陀螺技术，属于惯性测量领域。本发明采用围绕检测腔环形一周的合成射流器交替喷出气体，使检测腔内产生气流转子。气流转子具有传统转子所具有的定轴性和进动性，当外界有角速度或加速度输入时，气流转子会敏感角速度和加速度而发生运动，热敏电阻通过检测气流转子的运动来测量外界输入的角速度和加速度。而且该MEMS射流转子陀螺可与微加工工艺兼容，并且可将检测腔和侧喷式合成射流器的振动腔体一次性加工出，无需复杂的微装配工艺，简化工艺流程，而且也保证了器件的精度。继承了MEMS转子陀螺和MEMS射流陀螺的优点，而摒弃了MEMS振动式陀螺，MEMS转子陀螺和MEMS射流陀螺的缺点，具有很大的研究应用价值和广阔的发展前景。

主权项

一种MEMS射流转子陀螺，其特征在于：依次包括上检测层(36)、腔体层(35)和下检测层(37)；所述的腔体层(35)上有一贯穿的圆柱空腔，在所述圆柱空腔周向均布有多个振动腔；各振动腔均未贯通所述的腔体层(35)，未贯通部分分别形成相应的振动薄膜；所述圆柱空腔分别通过相应的喷口与相应的振动腔；所述各喷口径向错开；各振动薄膜下分别连有压电片；上检测层(36)位于腔体层(35)上方，使得腔体层(35)上的各振动腔均形成密闭空腔；下检测层(37)位于腔体层(35)下方，它和上检测层(36)一起，使得腔体层(35)上的贯穿圆柱空腔形成密闭的检测腔(1)；下检测层(37)上有第五热敏电阻(6)、第六热敏电阻(7)、第七热敏电阻(8)、第八热敏电阻(9)，它们位于检测腔(1)的下底面，并且绕检测腔(1)轴线周向均布；上检测层(36)相应位置上有第一热敏电阻(2)、第二热敏电阻(3)、第三热敏电阻(4)、第四热敏电阻(5)。