[发明专利]半导体基片自动测试设备无效
| 申请号： | 201110175122.0 | 申请日： | 2011-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN102288138A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 李正贤 | 申请（专利权）人： | 上海卓晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B11/16 |
| 代理公司： | 上海浦东良风专利代理有限责任公司 31113 | 代理人： | 陈志良 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明为一种半导体基片自动测试设备，包括主控计算机、伺服驱动系统、机械手、X向工作台、Y向工作台、测试头和信号处理系统，其特征在于：还包括人机交互软件模块、运动控制模块和数据处理模块，各模块之间紧密关联，相互进行数据交换和共享；所述的人机交互软件模块主要实现参数的输入、报警信息的提示；所述的运动控制模块对设备设有的10个马达通过运功控制板卡进行相应的控制，协调各马达的稳定运行，并带有自诊断功能，将出现的异常情况数据实时传输至主屏幕显示；所述的数据处理模块处理激光干涉仪采集的大量数据，并实时传输至主屏幕显示给用户。本发明有效实现了半导体基片生产过程中的机械化和自动化测量。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 自动 测试 设备 | ||
【主权项】：
一种半导体基片自动测试设备，包括主控计算机、伺服驱动系统、机械手、X向工作台、Y向工作台、测试头和信号处理系统，设备的运行过程：通过机械手将基片放置在X向工作台上，然后运行至测试头下方，依照主控程序设定的测试模式移动，而测试头则根据设定的采样方式进行检测，采样数据经过信号处理系统处理后传输至主控计算机，由主控计算机保存至数据库，并在显示器上实时显示相关曲线，其特征在于：还包括人机交互软件模块、运动控制模块和数据处理模块，各模块之间紧密关联，相互进行数据交换和共享；所述的人机交互软件模块主要实现参数的输入、报警信息的提示；所述的运动控制模块对设备设有的10个马达通过运功控制板卡进行相应的控制，协调各马达的稳定运行，并带有自诊断功能，将出现的异常情况数据实时传输至主屏幕显示；所述的数据处理模块处理激光干涉仪采集的大量数据，并实时传输至主屏幕显示给用户。
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