[发明专利]碱可溶性树脂及其制作方法、感光性树脂组合物、光刻胶有效
申请号: | 201110162205.6 | 申请日: | 2011-06-16 |
公开(公告)号: | CN102653581A | 公开(公告)日: | 2012-09-05 |
发明(设计)人: | 舒适;薛建设;赵吉生;李琳;田肖雄 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C08F267/04 | 分类号: | C08F267/04;C08F265/02;C08F257/02;G03F7/004;G03F7/027 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 罗建民;陈源 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种碱可溶性树脂及其制作方法、感光性树脂组合物、光刻胶,在碱可溶性树脂的分子结构中包含有酚醛环氧丙烯酸酯结构。因此,在显影时不会有耐热树脂残留,从而提高显影的效果。而且,酚醛环氧丙烯酸酯结构还可以提高光刻胶中光敏树脂与基板的附着力,从而可以避免掉胶的缺陷;而且,在图案化工艺后,环氧丙烯酸酯基团与羧基发生反应,从而增加光敏树脂的热稳定性以及化学稳定性。 | ||
搜索关键词: | 可溶性 树脂 及其 制作方法 感光性 组合 光刻 | ||
【主权项】:
一种碱可溶性树脂,其特征在于,在碱可溶性树脂的分子结构中包含有酚醛环氧丙烯酸酯结构。
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