[发明专利]一种DRAM相变存储单元及用于替代DRAM的相变存储器有效

专利信息
申请号: 201110160543.6 申请日: 2011-06-15
公开(公告)号: CN102339951A 公开(公告)日: 2012-02-01
发明(设计)人: 饶峰;宋志棠;夏梦姣 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 上海光华专利事务所 31219 代理人: 许亦琳;余明伟
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种DRAM相变存储单元及用于替代DRAM的相变存储器,其存储单元尺寸在10F2以下,所使用的相变材料为:二元材料SbxM100-x,40≦x≦98,或三元材料MySbxTe100-x,40≦x≦98,1≦y≦40。本发明所提供的该相变存储器单元,具有超快的相变速度,超低的功耗,超强的疲劳使用寿命,以及适中的高低电阻比例和适中的数据保持能力。克服了传统DRAM器件在亚28纳米工艺节点之后所遇到的技术瓶颈,可实现对DRAM的替代。
搜索关键词: 一种 dram 相变 存储 单元 用于 替代 存储器
【主权项】:
一种DRAM相变存储单元,其特征在于,其存储单元尺寸在10F2以下,所使用的相变材料为:(a)二元材料:SbxM100 x,40≤x≤98,M选自Te、Se、Si、Ge、C、N、O、Sn、Ga、Al、Pb、In、As、Ag、Au、Cu、W、B;或(b)三元材料:MySbxTe100 x,40≤x≤98,1≤y≤40,M选自Si、Ge、C、N、O、Sn、Ga、Al、Pb、In、Ag、Au、Cu、W、B。
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