[发明专利]剥离液及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 201110151807.1 | 申请日： | 2011-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN102200700A | 公开（公告）日： | 2011-09-28 |
| 发明（设计）人： | 冯卫文 | 申请（专利权）人： | 绵阳艾萨斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 621000 四川省绵*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种剥离液及其制备方法与应用。该剥离液包括季铵氢氧化物、非胺类水溶性有机溶剂、金属螯合剂、防腐剂、水和下述有机溶剂中的至少一种：二元醇类水溶性有机溶剂和二元醇醚类水溶性有机溶剂。该剥离液，能够迅速，完全的剥离光致抗蚀剂，而且对布线材料等的腐蚀作用较少。即使在剥离光致抗蚀剂的处理后用水进行漂洗，也不会导致不溶物的沉淀，并且对环境和人体具有高度安全性。该剥离液对湿蚀刻工序中发生变质的光致抗蚀剂可以有效地剥离除去光致抗蚀剂图案，对于像构成液晶面板和半导体元件的金属膜、氧化膜的无机材料物质具有极低腐蚀性，具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种剥离液，包括式I所示季铵氢氧化物、非胺类水溶性有机溶剂、金属螯合剂、防腐剂、水和下述有机溶剂中的至少一种：二元醇类水溶性有机溶剂和二元醇醚类水溶性有机溶剂；![]()
(式I)所述式I中，R1、R2和R3均选自碳原子总数为1-5的烷基或碳原子总数为1-5的羟烷基。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于绵阳艾萨斯电子材料有限公司，未经绵阳艾萨斯电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110151807.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
