[发明专利]剥离液及其制备方法与应用有效
申请号: | 201110151807.1 | 申请日: | 2011-06-08 |
公开(公告)号: | CN102200700A | 公开(公告)日: | 2011-09-28 |
发明(设计)人: | 冯卫文 | 申请(专利权)人: | 绵阳艾萨斯电子材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 关畅 |
地址: | 621000 四川省绵*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 剥离 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种剥离液,包括式I所示季铵氢氧化物、非胺类水溶性有机溶剂、金属螯合剂、防腐剂、水和下述有机溶剂中的至少一种:二元醇类水溶性有机溶剂和二元醇醚类水溶性有机溶剂;
(式I)
所述式I中,R1、R2和R3均选自碳原子总数为1-5的烷基或碳原子总数为1-5的羟烷基。
2.根据权利要求1所述的剥离液,其特征在于:所述剥离液由所述式I所示季铵氢氧化物、非胺类水溶性有机溶剂、金属螯合剂、防腐剂、水和下述有机溶剂中的至少一种组成:二元醇类水溶性有机溶剂和二元醇醚类水溶性有机溶剂。
3.根据权利要求1或2所述的剥离液,其特征在于:所述式I所示季铵氢氧化物选自氢氧化三甲基烯丙基铵、氢氧化(1-羟基乙基)二甲基烯丙基铵、氢氧化(1,2-二羟基乙基)一甲基烯丙基铵、氢氧化三乙基烯丙基铵、氢氧化一甲基二乙基烯丙基铵、氢氧化二甲基一乙基烯丙基铵、氢氧化(1-羟基乙基)二乙基烯丙基铵、氢氧化(1,2-二羟基乙基)一乙基烯丙基铵、氢氧化(1-羟基丙基)二乙基烯丙基铵、氢氧化三丙基烯丙基铵、氢氧化一甲基二丙基烯丙基铵、氢氧化二甲基一丙基烯丙基铵、氢氧化(1-羟基乙基)二丙基烯丙基铵、氢氧化(1,2-二羟基乙基)一丙基烯丙基铵、氢氧化一甲基一乙基一丙基烯丙基铵、氢氧化(1-羟基丙基)二丙基烯丙基铵、氢氧化(1,2-二羟基丙基)一丙基烯丙基铵和氢氧化三丁基烯丙基铵中的至少一种,优选氢氧化三甲基烯丙基铵,氢氧化三乙基烯丙基铵、氢氧化三丙基烯丙基铵、氢氧化三丁基烯丙基铵和氢氧化(1-羟基乙基)二甲基烯丙基铵中的至少一种;
所述非胺类水溶性有机溶剂选自N-甲基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N-乙基乙酰胺、N,N-二乙基乙酰胺、二甲基亚砜、丙酮和甲基乙基酮中的至少一种,优选二甲基亚砜和甲基乙基酮中的至少一种;
所述金属螯合剂选自乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二钠盐、二亚乙基三胺五乙酸、三亚乙基四胺六乙酸和氮基三乙酸中的至少一种,优选乙二胺四乙酸、二亚乙基三胺五乙酸和三亚乙基四胺六乙酸中的至少一种;
所述防腐剂选自果糖、葡萄糖、木糖醇、山梨糖醇、1-硫甘油、2-巯基乙醇、邻苯二酚、没食子酸、苹果酸和苯并三唑中的至少一种,优选山梨糖醇和苯并三唑中的至少一种;
所述二元醇类水溶性有机溶剂选自乙二醇、一缩二乙二醇和丙二醇中的至少一种,优选丙二醇;
所述二元醇醚类水溶性有机溶剂选自乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丁醚、乙二醇单苯醚、乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、二乙二醇单甲醚、一缩二乙二醇单甲醚、一缩二乙二醇单乙醚、一缩二乙二醇单丙醚、一缩二乙二醇单丁醚、二丙二醇单甲醚和二丙二醇单乙醚中的至少一种,优选乙二醇单甲醚和一缩二乙二醇单丁醚中的至少一种;
所述水的电阻率至少为18兆欧,总金属离子浓度不大于5000ug/L,优选500ug/L,更优选50ug/L。
4.根据权利要求1-3任一所述的剥离液,其特征在于:所述式I所示季铵氢氧化物占所述剥离液总重的1-15%,优选2-10%;
所述非胺类水溶性有机溶剂占所述剥离液总重的5-30%,优选10-20%;
所述金属螯合剂占所述剥离液总重的1-5%,优选2%;
所述防腐剂占所述剥离液总重的0.01-5%,优选1%;
所述二元醇类水溶性有机溶剂和二元醇醚类水溶性有机溶剂的质量用之和占所述剥离液总重的5-30%,优选10-20%;
余量为所述水。
5.一种制备权利要求1-4任一所述剥离液的方法,包括如下步骤:其特征在于:将所述式I所示季铵氢氧化物、所述非胺类水溶性有机溶剂、所述金属螯合剂、所述防腐剂、所述水和下述有机溶剂中的至少一种混匀,得到所述剥离液:二元醇类水溶性有机溶剂和二元醇醚类水溶性有机溶剂。
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