[发明专利]压电致动器的制造方法

摘要

本发明提供压电致动器的制造方法，能够减少因引出电极间的短路而引起压电致动器的驱动不良。压电元件形成工序(S5)之后，在蚀刻工序(S6)，以蚀刻残留上电极膜(83)被除去、振动板(53)不被除去的条件，把在后面的引出电极形成工序(S7)中形成的引出电极(90)间的振动板(53)的至少一部分蚀刻。即使在压电元件形成工序(S5)时，在引出电极(90)间产生蚀刻残留上电极膜(83)，蚀刻残留上电极膜(83)也会被蚀刻分断，可以保持形成在蚀刻残留上电极膜(83)的引出电极(90)间的绝缘。因此，可以得到减少了因引出电极(90)间的短路引起的压电致动器(100)的驱动不良的压电致动器(100)的制造方法。

主权项

一种压电致动器的制造方法，上述压电致动器具备：压电元件，其具备下电极或上电极中的任一方作为单独电极；和引出电极，其分别从上述单独电极引出，上述制造方法的特征在于，包括：在基板上形成下电极膜的下电极膜形成工序；在上述下电极膜上形成压电体层的压电体层形成工序；在上述压电体层上形成上电极膜的上电极膜形成工序；压电元件形成工序，有选择地蚀刻上述压电体层、和上述下电极膜或上述上电极膜，形成具备压电体并具备上述下电极或上述上电极中的任一方作为上述单独电极的上述压电元件；蚀刻工序，在上述压电元件形成工序后，以上述上电极膜被除去而上述基板不被除去的条件，对上述引出电极之间的上述基板的至少一部分进行蚀刻；和引出电极形成工序，在上述蚀刻工序后，形成分别从上述单独电极引出的上述引出电极。