[发明专利]压电致动器的制造方法

权利要求书

1.一种压电致动器的制造方法，上述压电致动器具备：压电元件，其具备下电极或上电极中的任一方作为单独电极；和引出电极，其分别从上述单独电极引出，上述制造方法的特征在于，包括：

在基板上形成下电极膜的下电极膜形成工序；

在上述下电极膜上形成压电体层的压电体层形成工序；

在上述压电体层上形成上电极膜的上电极膜形成工序；

压电元件形成工序，有选择地蚀刻上述压电体层、和上述下电极膜或上述上电极膜，形成具备压电体并具备上述下电极或上述上电极中的任一方作为上述单独电极的上述压电元件；

蚀刻工序，在上述压电元件形成工序后，以上述上电极膜被除去而上述基板不被除去的条件，对上述引出电极之间的上述基板的至少一部分进行蚀刻；和

引出电极形成工序，在上述蚀刻工序后，形成分别从上述单独电极引出的上述引出电极。

2.如权利要求1所述的压电致动器的制造方法，其特征在于，

在上述蚀刻工序，沿着上述引出电极对上述引出电极之间进行蚀刻，在上述基板形成缝隙。

3.如权利要求1或2所述的压电致动器的制造方法，其特征在于，

上述压电元件形成工序，在上述基板形成作为共用电极的上述下电极，

有选择地蚀刻上述压电体层和上述上电极膜，形成具备上述压电体和作为上述单独电极的上述上电极的上述压电元件。