[发明专利]压电致动器的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及具备压电元件和引出电极的压电致动器的制造方法，上述压电元件具有单独电极和由压电材料构成的压电体，上述引出电极分别与单独电极连接。

背景技术

作为压电致动器，众所周知有这样的压电致动器：具备压电元件和引出电极，上述压电元件具有下电极、压电体和上电极，上述引出电极分别与压电元件的电极连接。作为压电元件有这样的构成：用上电极和下电极这两个电极，把由具有电/机械变换功能的压电材料、例如结晶化的压电性陶瓷等构成的压电体夹持。

作为压电致动器的制造方法，已知下述制造方法：用反应性离子蚀刻、离子铣削等干蚀刻，对层叠着的下电极膜、压电体层和上电极膜进行图形形成，形成具有下电极、压电体和上电极的压电元件，然后在作为单独电极的上电极，分别形成引出电极(例如见专利文献1)。

专利文献1：日本国特开2009-255526号公报(第9页，图6)

若在干蚀刻前或干蚀刻中，颗粒附着在上电极膜，则附着了颗粒的部分的下电极膜、压电体层及上电极膜，不被蚀刻而残留下。

残留在压电元件的形成部分以外的下电极膜、压电体层和上电极膜之中，跨及之后形成的引出电极间的蚀刻残留，在形成了引出电极时，通过上电极膜使引出电极间产生短路。因此，不能保持引出电极间的绝缘性，由于短路导致压电致动器的驱动不良。

发明内容

本发明是为了解决上述课题而作出的，可用以下的方式或应用例实现。

应用例1

一种压电致动器的制造方法，上述压电致动器具备：压电元件，其具备下电极或上电极中的任一方作为单独电极；和引出电极，其分别从上述单独电极引出，上述制造方法的特征在于，包括：在基板上形成下电极膜的下电极膜形成工序；在上述下电极膜上形成压电体层的压电体层形成工序；在上述压电体层上形成上电极膜的上电极膜形成工序；压电元件形成工序，有选择地蚀刻上述压电体层、和上述下电极膜或上述上电极膜，形成具备压电体并具备上述下电极或上述上电极中的任一方作为上述单独电极的上述压电元件；蚀刻工序，在上述压电元件形成工序后，以上述上电极膜被除去而上述基板不被除去的条件，对上述引出电极之间的上述基板的至少一部分进行蚀刻；和引出电极形成工序，在上述蚀刻工序后，形成分别从上述单独电极引出的上述引出电极

根据该应用例，在蚀刻工序，以上电极膜被除去而基板不被除去的条件，对在引出电极形成工序中形成的引出电极之间的基板的至少一部分进行蚀刻。即使压电元件形成工序时，在引出电极间产生了含有上电极膜的蚀刻残留，上电极膜也会被蚀刻分断，可保持形成在上电极膜的引出电极间的绝缘。因此，可得到能减少因引出电极间的短路而导致压电致动器的驱动不良的压电致动器的制造方法。

应用例2

上述压电致动器的制造方法中，其特征在于，在上述蚀刻工序，沿着上述引出电极对上述引出电极之间进行蚀刻，在上述基板形成缝隙。

该应用例中，由于沿着引出电极在引出电极间形成缝隙，所以，无论含有上电极膜的蚀刻残留在引出电极间的哪个部位产生，上电极膜也都会被分断，可保持引出电极间的绝缘。因此，可得到能进一步减少因引出电极间的短路而导致压电致动器的驱动不良的压电致动器的制造方法。

应用例3

上述压电致动器的制造方法中，其特征在于，上述压电元件形成工序，在上述基板形成作为共用电极的上述下电极，有选择地蚀刻上述压电体层和上述上电极膜，形成具备上述压电体和作为上述单独电极的上述上电极的上述压电元件。

该应用例中，能够在把形成在振动板的下电极作为共用电极，把形成在压电体的上电极作为单独电极的压电致动器中，得到具有前述效果的压电致动器的制造方法。

附图说明

图1是表示喷墨式记录装置之一例的概略图。

图2是表示喷墨式记录头的分解局部立体图。

图3(a)是喷墨式记录头的局部俯视图，(b)是(a)中的A-A剖面图。

图4是表示喷墨式记录头的制造方法的流程图。

图5(a)～(d)是表示喷墨式记录头的制造方法的压力发生室的长度方向剖面图。

图6(e)～(h)是表示喷墨式记录头的制造方法的压力发生室的长度方向剖面图。

图7(i)～(k-1)是表示喷墨式记录头的制造方法的压力发生室的长度方向剖面图。

图8(k-2)～(m)是表示喷墨式记录头的制造方法的压力发生室的长度方向剖面图。

图9(n)和(o)是表示喷墨式记录头的制造方法的压力发生室的长度方向剖面图。