[发明专利]双频滤波装置及其处理方法和半导体设备有效
| 申请号： | 201110070838.4 | 申请日： | 2011-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN102694525A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 韦刚 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/58 | 分类号： | H03H9/58 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种双频滤波装置及其处理方法和半导体设备。该双频滤波装置，包括：低频滤波单元和高频滤波单元；所述低频滤波单元的输出端连接至公共输出端，所述低频滤波单元的输入端用于导入低频功率，且所述低频滤波单元用于阻隔来自所述高频滤波单元的高频功率以防止所述高频功率接地导通；所述高频滤波单元的输出端连接至所述公共输出端，所述高频滤波单元的输入端用于导入高频功率，且所述高频滤波单元用于阻隔来自所述低频滤波单元的低频功率以防止所述低频功率接地导通。本发明的技术方案中，双频滤波装置可形成理想的低频通路和高频通路，从而使该双频滤波装置能够更加理想的将低频功率和高频功率导入下电极。 | ||
| 搜索关键词： | 双频 滤波 装置 及其 处理 方法 半导体设备 | ||
【主权项】：
一种双频滤波装置，其特征在于，包括：低频滤波单元和高频滤波单元；所述低频滤波单元的输出端连接至公共输出端，所述低频滤波单元的输入端用于导入低频功率，且所述低频滤波单元用于阻隔来自所述高频滤波单元的高频功率以防止所述高频功率接地导通；所述高频滤波单元的输出端连接至所述公共输出端，所述高频滤波单元的输入端用于导入所述高频功率，且所述高频滤波单元用于阻隔来自所述低频滤波单元的低频功率以防止所述低频功率接地导通。
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