[发明专利]固体摄像元件、其制造方法和电子装置

摘要

本发明提供了一种固体摄像元件、其制造方法以及使用该固体摄像元件的电子装置，所述固体摄像元件包括：光电转换区，其形成于半导体基板中；电荷保持区，其形成于半导体基板中，所述电荷保持区用于保持累积于光电转换区中的电荷直到电荷被读出为止；传输门，其形成于半导体基板上，所述传输门用于将光电转换区中通过光电转换产生的电荷传送至电荷保持区；以及遮光膜，其形成于传输门的上表面上。在此情况中，与当入射至所述光电转换区中的光在波长区域中具有较短的波长时相比，当入射至所述光电转换区中的光在波长区域中具有较长的波长时，所述半导体基板和所述遮光膜之间的部分以更薄的方式形成。本发明的固体摄像元件中，可抑制当拍摄移动的高辉度对象的图像时的轨迹状噪声引起的着色。

主权项

一种固体摄像元件，其包括：光电转换区，其形成于半导体基板中；电荷保持区，其形成于所述半导体基板中，该电荷保持区用于保持累积于所述光电转换区中的电荷，直到所述电荷被读出为止；传输门，其形成于所述半导体基板上，该传输门用于将所述光电转换区中通过光电转换产生的电荷传送至所述电荷保持区；以及遮光膜，其形成于所述传输门的上表面上，其中，与当入射至所述光电转换区中的光在波长区域中具有较短的波长时相比，当入射至所述光电转换区中的光在波长区域中具有较长的波长时，所述半导体基板和所述遮光膜之间的部分以更薄的方式形成。