[发明专利]一种T轴旋转限位结构无效

专利信息
申请号: 201110062776.2 申请日: 2011-03-16
公开(公告)号: CN102290360A 公开(公告)日: 2011-12-21
发明(设计)人: 刘延杰;吴明月;荣伟彬;孙立宁 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构包括T轴限位上联接盘1、一级拨榫机构组合2、一级旋转限位拨盘3、二级拨榫机构组合4、上轴承5、轴承隔套6、旋转轴7、下轴承8、二级旋转限位拨盘9、限位套10、限位块11、联接螺钉12等。完成装配后,T轴限位机构旋转的总角度达1010°,以适应集成度要求更高、能够满足多角度、多工位进行硅片传输的T轴限位旋转机构。
搜索关键词: 一种 旋转 限位 结构
【主权项】:
T轴旋转限位机构,用在硅片传输机器人中,旋转角度大于1000°,包括T轴限位上联接盘(1)、一级拨榫机构组合(2)、一级旋转限位拨盘(3)、二级拨榫机构组合(4)、上轴承(5)、轴承隔套(6)、旋转轴(7)、下轴承(8)、二级旋转限位拨盘(9)、限位套(10)、限位块(11)、联接螺钉(12)等;其特征在于:所述T轴限位上联接盘(1)的沉孔内,装有一级拨榫机构组合(2);所述一级旋转限位拨盘(3)的沉孔内,装有二级拨榫机构组合(4),上表面开有圆周为330°的限位拨盘槽;所述旋转轴(7)轴肩上部装有下轴承(8)、轴承隔套(6)、上轴承(5);所述二级旋转限位拨盘(9)的上表面开有圆周为340°的限位拨盘槽,外侧设有20°的限位凸缘;所述限位套(10)的外侧圆柱面上,通过联接螺纹钉(12)装有限位块(11)。所述定位套(10)安装在机体上固定;所述二级旋转限位拨盘(9)的内孔与下轴承(8)配合并安装到位;所述一级旋转限位拨盘(3)的内孔与上轴承(5)配合安装到位,并使二级拨榫机构组合(4)的拨榫进入至二级旋转限位拨盘(9)的限位拨盘槽内;所述T轴限位上联接盘(1)的内孔,与旋转轴(7)的上部轴径相配合安装到位,并使一级拨榫机构组合(2)的拨榫进入至一级旋转限位拨盘(3)的限位拨盘槽内;将所述装配后的机构通过旋转轴(7)的下端轴径,安装在限位套(10)的内孔。所述结构中,用手以顺时针方向转动T轴限位上联接盘(1),直到转不动(限位)为止;此时,再逆时针转动T轴限位上联接盘(1),可以看到,当T轴限位上联接盘(1)旋转了330°时,一级拨榫机构组合(2)带动一级旋转限位拨盘(3)开始旋转;再逆时针旋转340°后,二级拨榫机构组合(4)带动二级旋转限位拨盘(9)开始旋转;继续逆时针旋转340°后,二级旋转限位拨盘(9)侧面的限位凸缘被限位套(10)上的限位块(11)阻挡,达到另一侧限位位置;此时T轴限位机构旋转的总角度为:330°+340°+340°=1010°。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工业大学,未经哈尔滨工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201110062776.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top