[发明专利]一种基于铂分离层的多层膜反射镜及其制造方法有效
| 申请号： | 201110053529.6 | 申请日： | 2011-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN102682867A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 穆宝忠;王占山;王芳芳;杨夏军;金慧俊 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G21K1/06 | 分类号： | G21K1/06;G21K1/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 林君如 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于铂分离层的多层膜反射镜及其制造方法，在超光滑的玻璃母板上镀制Pt分离层，再镀制X射线多层膜，然后均匀喷涂液态环氧树脂，在真空环境下将超薄的铝片基底压在上面，环氧树脂高温固化后，铝片基底、固化的环氧树脂、X射线多层膜以及Pt分离层作为整体与玻璃母板自动分离即可。本发明加入了3-10纳米厚的Pt分离层，克服了传统复制工艺中由于分离困难而只能制备Au或Pt单层金属膜镜以及Pt/C周期膜镜的不足，使常用的X射线多层膜材料都可用于超薄超光滑反射镜的复制，厚度3-10纳米的Pt分离层对硬X射线的吸收很小，因此Pt分离层的加入几乎不影响反射镜的光学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 分离 多层 反射 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种基于铂分离层的多层膜反射镜，其特征在于，该反射镜由铂分离层(2)、X射线多层膜(3)、环氧树脂层(4)及铝片基底(5)构成。
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