[发明专利]一种基于铂分离层的多层膜反射镜及其制造方法有效
| 申请号： | 201110053529.6 | 申请日： | 2011-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN102682867A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 穆宝忠;王占山;王芳芳;杨夏军;金慧俊 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G21K1/06 | 分类号： | G21K1/06;G21K1/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 林君如 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 分离 多层 反射 及其 制造 方法 | ||
1.一种基于铂分离层的多层膜反射镜，其特征在于，该反射镜由铂分离层(2)、X射线多层膜(3)、环氧树脂层(4)及铝片基底(5)构成。
2.根据权利要求1所述的一种基于铂分离层的多层膜反射镜，其特征在于，所述的铂分离层(2)的厚度为3-10纳米。
3.根据权利要求1所述的一种基于铂分离层的多层膜反射镜，其特征在于，所述的X射线多层膜(3)镀制在铂分离层(2)上。
4.根据权利要求1所述的一种基于铂分离层的多层膜反射镜，其特征在于，所述的环氧树脂层(4)喷涂在X射线多层膜(3)上，厚度为10-30微米。
5.根据权利要求1所述的一种基于铂分离层的多层膜反射镜，其特征在于，所述的铝片基底(5)粘压在环氧树脂层(4)，厚度为100-500微米。
6.一种如权利要求1所述的基于铂分离层的多层膜反射镜的制造方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
1)在光滑的玻璃母板(1)上镀制厚度为3-10纳米的铂分离层(2)；
2)在铂分离层(2)上镀制X射线多层膜(3)；
3)在X射线多层膜(3)的表面均匀喷涂液态环氧树脂；
4)将铝片基底(5)粘压在液态环氧树脂上；
5)控制温度为60℃，使环氧树脂固化得到环氧树脂层(4)，将铝片基底(5)、环氧树脂层(4)、X射线多层膜(3)以及Pt分离层(2)作为整体与玻璃母板(1)分离得到多层膜反射镜。
7.根据权利要求6所述的一种基于铂分离层的多层膜反射镜的制造方法，其特征在于，步骤2)中所述的镀制X射线多层膜(3)采用磁控溅射方法。
8.根据权利要求6所述的一种基于铂分离层的多层膜反射镜的制造方法，其特征在于，步骤4)中所述的铝片基底(5)粘压在液态环氧树脂上的外部环境为真空环境。
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