[发明专利]硅片制绒槽均匀加热装置

摘要

一种硅片制绒槽均匀加热装置，包括制绒槽、电加热管和不锈钢板罩，不锈钢板罩的大小与制绒槽的底部相当，电加热管设置在制绒槽的底部，不锈钢板罩设置在电加热管的上方，在不锈钢板罩上设有透液孔。电加热管加热与其接触的液体，使不锈钢板罩内的液体同步升温，使不锈钢板罩所笼罩的空间形成了一个等温加热源，在加热过程中，液体从下到上实现等梯度的温度场，经过底层高温液体与顶层低温液体的等速热对流，使制绒槽内液体均匀地升温，由原来的局部加热改为整面式同步加热。不仅加速了整个制绒槽内液体温度上升的速度，而且提高了制绒槽内液体温度场均匀性，为制绒提供一个更均匀更稳定的温度环境，从而提高制绒质量。

主权项

一种硅片制绒槽均匀加热装置，其特征是：包括制绒槽(1)、电加热管(2)和不锈钢板罩(3)，不锈钢板罩(3)的大小与制绒槽的(1)底部相当，电加热管(2)设置在制绒槽(1)的底部，不锈钢板罩(3)设置在电加热管2的上方，在不锈钢板罩(3)上设有透液孔(4)。