[发明专利]硅片制绒槽均匀加热装置

说明书

技术领域：

本发明涉及单晶硅片槽式制绒设备，尤其涉及单晶硅片槽式制绒设备中的加热装置。

背景技术：

随着太阳能电池生产技术的不断提升，对于太阳能电池产品的质量以及成本提出了新的要求。制绒工艺是太阳能电池整个工艺生产线中最为重要的一环，其目的是为了去除切割后硅片的表面损伤层，同时通过化学腐蚀的方法在硅片表面进行织构化处理，形成良好的陷光效应，降低硅片表面发射率。目前，通用的生产工艺是采用槽式制绒设备，在制绒槽中加入强碱KOH或者NaOH溶液，在70°～80°左右的温度条件下，用KOH或者NaOH溶液对硅片进行各向异性腐蚀，在硅片表面腐蚀出类似于金字塔结构的角锥体，从而增加入射光的反射次数，降低表面反射率，提高吸光效率。在制绒过程中，制绒槽内腐蚀液的浓度均匀性和温度场的均匀性对大批量工业化制绒生产质量的稳定性影响很大，所以，在实际生产过程中，制绒槽内的温度场的稳定性是非常重要的一个影响因子。目前，通常采用在制绒槽的底部间隔地布设2～3根不锈钢管式加热器或特氟龙管式加热器，对制绒槽内腐蚀液进行加热升温，这种局部加热方式只能对与加热管接触的液体进行快速加热，其它部位的液体通过对流的方式进行热传递，从而缓慢地提高制绒槽内液体的温度。这种局部加热升温方式，很难使制绒槽内腐蚀液满足制绒均匀的温度场要求，要使整个制绒槽内的腐蚀液温度场满足制绒的温度均匀性要求，必须等足够的时间，通过对流方式来升温并达到温度场的均化要求，不仅降低了制绒设备的产能，而且也会造成制绒质量的不稳定，不能满足规模化制绒工艺的生产要求。另一方面，装载硅片的石墨舟都撂置在 加热管上，既不利于热量的扩散，也容易对加热管造成磨损或压坏，从而影响整个制绒设备的正常使用。

发明内容：

为了克服现有硅片制绒设备中加热装置存在的上述不足，本发明提供了一种硅片制绒槽均匀加热装置。它既能对制绒槽内的液体进行均匀加热，提高温度场稳定性，石墨舟与加热管不接触，能保护加热管，它能满足制绒工艺对腐蚀液温度场的均匀性要求。

本发明采取的技术方案是：

一种硅片制绒槽均匀加热装置，其特征是：包括制绒槽和电加热管和不锈钢板罩，不锈钢板罩的大小与制绒槽的底部相当，电加热管设置在制绒槽的底部，不锈钢板罩设置在电加热管的上方，在不锈钢板罩上设有透液孔。

由于在制绒槽的底部设置了电加热管，在电加热管的上方架设了不锈钢板罩，在不锈钢板罩上开设了透液孔，电加热管所释放热量先加热与其接触的液体，然后使不锈钢板罩内的液体同步升温，由不锈钢板罩所笼罩的空间形成了一个等温加热源，不锈钢板罩均匀地对位于其上方的液体进行加热。这样，制绒槽内的液体从下到上实现等梯度的温度场，经过底部的高温液体再与上面的低温区液体的等速热对流，使制绒槽内液体均匀地升温，电加热管对制绒槽内液体的加热方式由原来的局部加热改为整面式同步加热。不仅加速了整个制绒槽内液体温度上升的速度，而且提高了制绒槽内液体温度场均匀性，克服了现有技术的不足，在制绒过程中不需要对腐蚀液进行搅拌，也不需要经过长时间等待才能形成均匀稳定的温度场，为制绒提供一个更均匀更稳定的温度环境，从而提高制绒质量。

附图说明：

图1为本发明的结构示意图；

图2为电加热线圈的分布示意图；

图中：1-制绒槽；2-电加热管；3-不锈钢板罩；4-透液孔。

具体实施方式：

下面结合附图说明本发明的具体实施方式：

实施例1：一种硅片制绒槽均匀加热装置，它由制绒槽1、电加热管2和不锈钢板罩3组成，不锈钢板罩3的大小与制绒槽1的底部相当，电加热管2设置在制绒槽1的底部，不锈钢板罩3设置在电加热管2的上方，在不锈钢板罩3上设有透液孔4。