[发明专利]氢气的排气方法以及真空泵装置

摘要

本发明提供一种能够提高氢气的排气效率的氢气的排气方法以及真空泵装置。真空泵装置S的构成为：主泵(10)、第二辅助泵(27)以及第一辅助泵(55)串联连接，并且在排气通路中的氢气的排气方向上，第一辅助泵(55)以及第二辅助泵(27)配置在主泵(10)的上游侧。在真空泵装置(S)的驱动过程中，来自半导体制造装置的氢气最先被吸入的第一辅助泵(55)的排气口(56b)处，经由导入口(56c)以及导入管(70)供给粘性率高于氢气的氮气，利用该氮气的粘性来提高氢气的输送性。

主权项

一种氢气的排气方法，由如下真空泵装置来排出氢气，该真空泵装置设置在氢气的排气通路上，其中串联连接有主泵以及至少一个副泵，并且在上述排气通路中的氢气的排气方向上，上述副泵配置在上述主泵的上游侧，该氢气的排气方法的特征在于，在上述真空泵装置的驱动过程中，向上述排气通路中的氢气最先被吸入的副泵的排气区域中，供给粘性率高于上述氢气的稀释气体，并利用该稀释气体的粘性来提高上述氢气的输送性。