[发明专利]具有酚取代基的化合物、制备该化合物的方法、以及包含该化合物的抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供具有由下式(1)表示的酚取代基的新化合物、制备该化合物的方法以及包含该化合物的抗蚀剂组合物：[式1]其中R₁至R₇以及n₁如本发明的详细说明书中所定义。所述由式(1)表示的取代基含有酸解离性官能团。所述具有由式(1)表示的酚取代基的化合物与光致产酸剂共同组成抗蚀剂组合物，由此提供具有优异的灵敏度、分辨率和线边缘粗糙度，并且能够绘制超微细图形的抗蚀剂组合物。

主权项

1.具有酚取代基的化合物，所述酚取代基由下式(1)表示：[式1]其中R₂和R₃各自独立地表示选自氢原子、卤素原子、羧基、腈基、醛基、环氧基、烷基、环烷基、杂环烷基、芳基、芳烷基、杂芳基和杂芳烷基中的任意一种；R₅至R₇各自独立地表示选自氢原子、卤素原子、羧基、羟基、腈基、醛基、环氧基、烷基、环烷基、杂环烷基、芳基、芳烷基、杂芳基和杂芳烷基中的任意一种；n₁为1至30的整数；并且R₁和R₄各自独立地为酸解离性官能团。