[发明专利]在图案化晶片上的可控结合波无效
申请号: | 201110009499.9 | 申请日: | 2011-01-12 |
公开(公告)号: | CN102126701A | 公开(公告)日: | 2011-07-20 |
发明(设计)人: | 史蒂夫·戴明;陈振方;迈克尔·罗基奥;胡戈·J·米勒 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | B81C3/00 | 分类号: | B81C3/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 陈平 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 结合两个衬底的方法包括:在第一衬底和第二衬底之间放置分隔件;在分隔件在第一衬底和第二衬底之间的情况下,对第一衬底施加压力,以引发第一衬底和第二衬底之间的结合波;和通过平移所述分隔件使其远离第一衬底或第二衬底的中心,控制结合波的移动。 | ||
搜索关键词: | 图案 晶片 可控 结合 | ||
【主权项】:
一种结合两个衬底的方法,所述方法包括:在第一衬底和第二衬底之间放置分隔件;在所述分隔件在第一衬底和第二衬底之间的情况下,对第一衬底施加压力,以引发第一衬底和第二衬底之间的结合波;和通过平移所述分隔件使其远离第一衬底或第二衬底的中心,控制所述结合波的移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士胶片株式会社,未经富士胶片株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201110009499.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。