[发明专利]在图案化晶片上的可控结合波

权利要求书

1.一种结合两个衬底的方法，所述方法包括：

在第一衬底和第二衬底之间放置分隔件；

在所述分隔件在第一衬底和第二衬底之间的情况下，对第一衬底施加压力，以引发第一衬底和第二衬底之间的结合波；和

通过平移所述分隔件使其远离第一衬底或第二衬底的中心，控制所述结合波的移动。

2.权利要求1所述的方法，所述方法还包括：当所述结合波在第一衬底和第二衬底之间移动时，监控所述结合波。

3.权利要求1所述的方法，所述方法还包括：在平移所述分隔件之后，从第一衬底和第二衬底之间移除所述分隔件。

4.权利要求3所述的方法，其中所述分隔件包括锥形部和非锥形部，并且其中移除所述分隔件包括：移除所述非锥形部后面的所述锥形部。

5.权利要求1所述的方法，所述方法还包括：确定所述结合波的停止点，其中控制所述结合波的移动在已经确定所述停止点之后开始。

6.权利要求1所述的方法，其中以低于最高速率的速率平移所述分隔件，超过所述最高速率，孔隙和气泡能够被捕获在第一和第二衬底之间。

7.权利要求1所述的方法，其中以在约50mm/s至70mm/s之间的速率平移所述分隔件。

8.权利要求1所述的方法，其中施加在约0.5psi至5psi之间的压力。

9.权利要求8所述的方法，其中施加约1psi的压力。

10.权利要求1所述的方法，其中第一衬底或第二衬底包括图案化区域，该图案化区域包括至少一个管芯。

11.权利要求10所述的方法，所述方法还包括：将具有图案化区域的衬底定位，使得所述至少一个管芯的长度沿着与沿着所述分隔件的长度延伸的轴的角度小于30°的轴定位。

12.权利要求11所述的方法，其中所述角度为约17°。

13.权利要求1所述的方法，其中将所述分隔件放置在第一衬底和第二衬底之间使得在第一衬底和第二衬底之间至少一个点具有约0.5mm至5mm的间隙。

14.权利要求13所述的方法，其中所述间隙为约1mm。

15.权利要求1所述的方法，其中大致沿着第一衬底或第二衬底的径向轴放置所述分隔件，所述分隔件沿着所述径向轴延伸的量小于第一衬底或第二衬底的径向距离。

16.权利要求15所述的方法，其中所述分隔件沿着所述径向轴延伸约0.5mm至50mm。

17.权利要求16所述的方法，其中所述分隔件沿着所述径向轴延伸约3mm。

18.权利要求1所述的方法，其中所述压力是使用手动机构施加的。

19.权利要求1所述的方法，其中所述压力由来自自动化气缸的空气施加。

20.权利要求1所述的方法，其中所述结合波还通过使压力机构在第一衬底或第二衬底的表面上滑动而引发。

21.权利要求20所述的方法，其中所述压力机构包含柔性材料。

22.权利要求21所述的方法，其中所述柔性材料是橡胶。

23.权利要求1所述的方法，其中在第一或第二衬底上的单个压力点施加压力。

24.权利要求1所述的方法，其中所述分隔件是第一和第二衬底之间的唯一分隔件。

25.一种用于结合两个衬底的设备，其包括：

衬底固定部件，其被构造成固定第一衬底；

分隔件，其被构造成分开第一衬底和第二衬底；

压力诱导器，其被构造成对第一或第二衬底施加压力，并且引发第一衬底和第二衬底之间的结合波；

监控装置，其被构造成产生在第一和第二衬底之间的结合波的图像；和

连接至所述分隔件的机构，其中该机构被构造成平移所述分隔件使其远离第一或第二衬底的中心，以控制所述结合波的移动。

26.权利要求25所述的设备，其中所述监控装置是红外线照相机。

27.权利要求25所述的设备，其中所述分隔件包括锥形部。