[发明专利]正型感光性树脂组合物、由该组合物形成的固化膜及具有固化膜的元件有效
| 申请号： | 201080058514.2 | 申请日： | 2010-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN102667625A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 藤原健典;内田圭一;谷垣勇刚;诹访充史 | 申请（专利权）人： | 东丽株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;C08G77/04;C08G77/14;G03F7/022;G03F7/023 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 段承恩;田欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明的正型感光性树脂组合物，其特征在于，是含有(a)聚硅氧烷、(b)重氮萘醌化合物、(c)溶剂的正型感光性组合物，(a)聚硅氧烷中的来源于通式(1)所示的有机硅烷的结构的含有比率，以相对于聚硅氧烷全体的Si原子摩尔数的Si原子摩尔比计，为20%～80%，并且包含来源于通式(2)所示的有机硅烷的结构。通过本发明的正型感光性组合物，可以提供具有高耐热性、高透明性的特性，并且能够以高灵敏度形成高分辨率的图案的正型感光性组合物。此外，可以用于由本发明的正型感光性组合物形成的TFT基板用平坦化膜、层间绝缘膜、芯材、包层材等的固化膜、以及具有该固化膜的显示元件、半导体元件、固体摄像元件、光波导等的元件。 |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 形成 固化 具有 元件 | ||
【主权项】：
1.一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，是含有(a)聚硅氧烷、(b)重氮萘醌化合物、和(c)溶剂的正型感光性组合物，(a)聚硅氧烷中的来源于通式(1)所示的有机硅烷的结构的含有比率，以相对于聚硅氧烷全体的Si原子摩尔数的Si原子摩尔比计，为20%～80%，并且(a)聚硅氧烷中包含来源于通式(2)所示的有机硅烷的结构，![]()
式中，R1表示碳原子数6～15的芳基，多个R1可以分别相同也可以不同；R2表示氢、碳原子数1～6的烷基、碳原子数2～6的酰基、碳原子数6～15的芳基中的任一种，多个R2可以分别相同也可以不同；n表示1～3的整数；![]()
式中，R3～R6分别独立地表示氢、碳原子数1～6的烷基、碳原子数2～6的酰基、碳原子数6～15的芳基中的任一种；m表示1～11的整数。
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