[发明专利]抗反射涂层及其制造方法无效
申请号: | 201080058343.3 | 申请日: | 2010-12-14 |
公开(公告)号: | CN102812557A | 公开(公告)日: | 2012-12-05 |
发明(设计)人: | 让-弗朗索瓦·乌达尔;弗朗索瓦·莱科利 | 申请(专利权)人: | 北美AGC平板玻璃公司;欧洲AGC玻璃公司;旭硝子株式会社 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 顾晋伟;董文国 |
地址: | 美国乔*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及抗反射涂层及其制造方法。更具体地说,本发明涉及具有渐次变化的孔隙度的涂层,该涂层通过这样的方法制造,该方法包括:制备具有特定量的正硅酸四乙酯、聚乙二醇、盐酸、乙醇、丁醇和水的液体组合物;将所述液体组合物施加到加热的基材表面;将经涂覆的玻璃体系加热到高于所述加热的基材的温度的温度。 | ||
搜索关键词: | 反射 涂层 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种涂层,包括:设置于基材上的至少一个层,其中所述至少一个层包括由第一表面和第二表面限定的厚度;其中所述层的所述第一表面比所述第二表面更靠近所述基材的表面;并且其中所述至少一个层具有渐次变化的孔隙度使得尺寸较大的孔位于更靠近所述层的所述第一表面处并且所述层中的孔的尺寸在所述层的整个所述厚度上随着远离所述基材并接近所述第二表面而变小。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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