[发明专利]阻气性膜、装置以及阻气性膜的制造方法有效
| 申请号： | 201080053566.0 | 申请日： | 2010-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN102639320A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 中津川雄二 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | B32B9/00 | 分类号： | B32B9/00;B32B9/04;B32B27/36;H01L31/042;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 段承恩;田欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供阻气性优异的阻气性膜、使用该阻气性膜的装置、该阻气性膜的制造方法。阻气性膜（1）含有所含的低聚物量为1质量%以下的塑料膜（2）、在塑料膜（2）上设置的有机层（3）、和在有机层（3）上设置的无机层（4），有机层（3）的厚度比塑料膜表面的最大高低差大。由此能够提供阻气性优异的阻气性膜（1）。 | ||
| 搜索关键词： | 气性 装置 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种阻气性膜，其特征在于，含有所含的低聚物量为1质量%以下的塑料膜、在该塑料膜上设置的有机层、和在该有机层上设置的无机层，所述有机层的厚度比所述塑料膜表面的最大高低差大。
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