[发明专利]基板处理装置以及显示元件的制造方法有效
| 申请号： | 201080048800.0 | 申请日： | 2010-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN102666323A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 宫地章;木内彻;奈良圭 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;H01L21/677;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;杨林森 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 基板处理装置具备：处理部，其对基板进行规定的处理；和基板保持部，其相对处理部移动，并且在形成基板的被处理面的同时对基板进行保持。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 以及 显示 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种基板处理装置，其特征在于，具备：处理部，其对基板进行规定的处理；和基板保持部，其相对所述处理部移动，并且一边形成所述基板的被处理面，一边保持所述基板。
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