[发明专利]处理有非平坦表面的基材的方法

摘要

揭示一种处理具有水平表面以及非水平表面的基材的方法。藉由采用离子植入器，将粒子植入到基材中。在离子植入期间，由于植入处理的性质，可以在表面上沉积薄膜，其中水平表面上的薄膜的厚度较厚。薄膜的出现可能逆向改变基材的特性。为了对此情况进行更正，执行第二处理步骤来移除沉积在水平表面上的薄膜。在一些实施例中，蚀刻处理被用于移除此薄膜。在一些实施例中，材料改性步骤被用于改变组成薄膜的材料的组成物。材料改性步骤可以替代蚀刻处理，或者作为蚀刻处理的附加步骤。

主权项

一种处理基材的方法，所述基材具有水平表面以及非水平表面，其特征在于，所述方法包括：将理想的数量的离子引入到所述基材中，其中在所述引入期间，在所述水平表面上沉积薄膜；以及藉由采用蚀刻处理以将所述薄膜从所述水平表面移除。