[发明专利]着色感光性树脂组合物、滤色器及液晶显示装置无效
申请号: | 201080043288.0 | 申请日: | 2010-05-17 |
公开(公告)号: | CN102576190A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 儿玉知启;柏木大助 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G02B5/20;G02B5/22;G02F1/1335;G03F7/027;G03F7/029 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 蒋亭 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种显影时的图案形成性良好、可以形成微细图案的着色感光性树脂组合物。该着色感光性树脂组合物包含含有黑色材料的着色剂、碱可溶性树脂、具有3个以上聚合性基团的聚合性化合物、聚合引发剂或聚合引发体系、和溶剂而构成,在透明基板上形成含有光学密度成为4.0的着色感光性树脂组合物的感光性树脂层,将从与感光性树脂层的透明基板侧相反的面侧,隔着掩模对感光性树脂层进行曝光、显影处理而形成的第1图案的线宽为W1,在该第1图案的线宽W1相对于掩模的线宽W2之比W1/W2成为0.7~1.5的范围的曝光、显影条件下得到的第1图案的膜厚为d2;和从感光性树脂层的透明基板侧的面侧,隔着掩模和所述透明基板在所述曝光、显影条件下对感光性树脂层进行曝光、显影处理而得到的第2图案的膜厚为d1,d1与d2之比设定为0.3以上。 | ||
搜索关键词: | 着色 感光性 树脂 组合 滤色器 液晶 显示装置 | ||
【主权项】:
一种着色感光性树脂组合物,其包含含有黑色的色料的着色剂、碱可溶性树脂、具有3个以上聚合性基团的聚合性化合物、聚合引发剂或聚合引发体系、和溶剂,其中,在透明基板上以光学密度成为4.0的方式形成含有所述着色感光性树脂组合物的感光性树脂层,从与所述感光性树脂层的和所述透明基板对置的面相反的面侧,隔着掩模对所述感光性树脂层进行曝光、显影处理而形成的在第1图案的线宽为W1,并在该第1图案的线宽W1相对于所述掩模的线宽W2之比W1/W2成为0.7~1.5的范围的曝光、显影条件下得到的所述第1图案的膜厚为d2,从所述感光性树脂层的和所述透明基板对置的面侧,隔着掩模和所述透明基板在所述W1/W2成为0.7~1.5的范围的曝光、显影条件下对所述感光性树脂层进行曝光、显影处理而得到的第2图案的膜厚为d1,d1与d2之比为0.3以上。
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