[发明专利]蚀刻液组合物无效
| 申请号： | 201080042912.5 | 申请日： | 2010-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN102648270A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 李昔准;梁承宰;权五柄;李喻珍 | 申请（专利权）人： | 东友FINE-CHEM股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06 |
| 代理公司： | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人： | 郑立;高为华 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蚀刻液组合物，用于包含含铜金属膜和含钼金属膜的双层或多层膜，基于所述组合物的总重，所述蚀刻液组合物包含：25～50wt％的H3PO4；0.1～7wt％的HNO3；10～50wt％的CH3COOH；0.1～5wt％的环胺化合物；和余量水。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液组合物，用于包括含铜金属膜和含钼金属膜的双层或多层膜，基于所述组合物的总重，所述蚀刻液组合物包含：25～50wt％的H3PO4；0.1～7wt％的HNO3；10～50wt％的CH3COOH；0.1～5wt％的环胺化合物；和余量的水。
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