[发明专利]微机械惯性传感器器件有效
| 申请号： | 201080042319.0 | 申请日： | 2010-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN102597699A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | C·阿卡 | 申请（专利权）人： | 飞兆半导体公司 |
| 主分类号： | G01C19/5719 | 分类号： | G01C19/5719;G01P15/18;G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 郑建晖;杨勇 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 微机械惯性传感器(200)，具有测量六个自由度的单个检验质量块(201)。所述单个检验质量块(201)包括：框架(202)；x轴线检验质量块部分(212a，212b)，其通过第一挠曲部附接至所述框架；以及y轴线检验质量块部分(218)，其通过第二挠曲部(228a，228b)附接至所述框架(202)。所述单个检验质量块(201)在一个微机械结构层中形成，且适于测量单一驱动运动下的关于三个轴线的角速度和关于所述三个轴线的线性加速度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 惯性 传感器 器件 | ||
【主权项】：
一种用于测量自身运动的传感器，包括：框架；第一平面检验质量块部分，其通过第一挠曲部附接至所述框架；以及第二平面检验质量块部分，其通过第二挠曲部附接至所述框架；其中所述框架、所述第一平面检验质量块部分和所述第二平面检验质量块部分形成于一个微机械层中，且适于测量关于三个轴线的角速度和关于所述三个轴线的线性加速度。
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