[发明专利]微机械惯性传感器器件

权利要求书

1.一种用于测量自身运动的传感器，包括：

框架；

第一平面检验质量块部分，其通过第一挠曲部附接至所述框架；以及

第二平面检验质量块部分，其通过第二挠曲部附接至所述框架；

其中所述框架、所述第一平面检验质量块部分和所述第二平面检验质量块部分形成于一个微机械层中，且适于测量关于三个轴线的角速度和关于所述三个轴线的线性加速度。

2.根据权利要求1所述的传感器，还包括：

至少一个梳状电极，用于以驱动频率关于一个与一平面正交的轴线驱动所述第一平面检验质量块部分和所述第二平面检验质量块部分，当所述传感器不被外部扰动时，所述微机械层基本布置在所述平面上。

3.根据权利要求2所述的传感器，其中所述梳状电极包括多个静止指状物和多个移动梳形指状物。

4.根据权利要求3所述的传感器，其中所述多个静止指状物被连接至一个锚，该锚被固定至布置在所述微机械层下方的一个晶圆。

5.根据权利要求2所述的传感器，其中所述第二平面检验质量块部分包括一对翼部，该对翼部关于第一轴线对称地布置，且当所述传感器以一角速度沿着与所述第一轴线垂直的第二轴线被扰动时，所述翼部适于以相反方向运动。

6.根据权利要求5所述的传感器，还包括：

一对陀螺仪电极，其被布置在所述微机械层下方，

其中，沿着所述第二轴线的所述角速度是通过测量所述一对陀螺仪电极和所述一对翼部之间的电容的变化而检测的。

7.根据权利要求5所述的传感器，还包括：

一对加速度计电极，其分别连接至所述一对翼部，并且关于第一轴线对称地布置，

其中所述传感器的沿着所述第二轴线的线性加速度是通过测量所述一对加速度计电极的电容变化而检测的。

8.根据权利要求7所述的传感器，其中每个所述加速度计都被连接至一个锚，所述锚被固定至布置在所述微机械层下方的一个晶圆。

9.根据权利要求2所述的传感器，其中所述第一检测质量块部分包括关于第二轴线对称地布置的一对质量块，且当所述传感器以一个角速度沿着垂直于所述第二轴线的第一轴线被扰动时，所述一对质量块适于在相反方向上运动。

10.根据权利要求9所述的传感器，还包括：

一对陀螺仪电极，其被布置在所述微机械层下方；

其中，沿所述第一轴线的角速度是通过测量所述一对质量块和所述一对陀螺仪电极之间的电容的变化来检测的。

11.根据权利要求8所述的传感器，其中传感器沿着与所述平面正交的轴线的线性加速度是通过测量所述一对质量块和所述一对陀螺仪电极之间的电容的变化而检测的。

12.根据权利要求9所述的传感器，其中当所述传感器以一个角速度沿着与所述平面正交的所述轴线而被扰动时，所述一对质量块适于在相反方向上运动。

13.根据权利要求12所述的传感器，还包括：

一对加速度计电极，其分别连接至所述一对质量块，且关于所述第二轴线对称地布置；

其中沿着与所述平面正交的所述轴线的角速度是通过测量所述一对加速度计电极中的电容变化来检测的。

14.根据权利要求13所述的传感器，其中每个所述加速度计都被连接至一个锚，该锚被固定至布置在所述微机械层下方的一个晶圆。

15.根据权利要求13所述的传感器，其中所述传感器的沿着所述第一轴线的线性加速度是通过测量所述一对加速度计电极中的电容变化而检测的。

16.根据权利要求1所述的传感器，还包括：

一个锚，其被固定至布置在所述微机械层下方的一个晶圆，所述锚基本被定位在所述传感器的中心。

17.根据权利要求16所述的传感器，还包括：

一个内框架，其通过多个悬挂梁连接至所述锚；以及

多个挠曲部，其连接至所述内框架和所述第二检验质量块部分，并且适于为所述第二检验质量块部分提供恢复力。