[发明专利]对时变的缺陷分类性能的监视无效
| 申请号： | 201080030311.2 | 申请日： | 2010-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN102576045A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | P·休伊特;B·达菲;M·费利豪尔;T·托特泽赫;C·马赫 | 申请（专利权）人： | 克拉-坦科股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈炜 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了监视时变的分类性能的系统和方法。一种方法可包括但不限定于：从一个或更多个扫描检验工具接收指示一个或更多个样本的一种或更多种属性的一个或更多个信号；根据对从这一个或更多个扫描检验工具收到的一个或更多个信号应用一种或更多种分类规则来确定这一个或更多个样本的一种或更多种缺陷类型的种群；使用一个或更多个高分辨率的检验工具来确定这一个或更多个样本的这一种或更多种缺陷类型的种群；以及计算从应用到接收自这一个或更多个扫描检验工具的一个或更多个信号的一种或更多种分类规则的应用确定的一个或更多个样本的一种或更多种缺陷类型的种群与使用这一个或更多个高分辨率的检验工具确定的这一个或更多个样本的这一种或更多种缺陷类型的种群之间的一个或更多个相关性。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 分类 性能 监视 | ||
【主权项】：
一种用于监视时变的缺陷分类性能的方法，包括：从一个或更多个扫描检验工具接收指示一个或更多个样本的一种或更多种属性的一个或更多个信号；根据对从所述一个或更多个扫描检验工具收到的所述一个或更多个信号应用一种或更多种分类规则来确定所述一个或更多个样本的一种或更多种缺陷类型的种群；使用一个或更多个高分辨率的检验工具来确定所述一个或更多个样本的所述一种或更多种缺陷类型的种群；以及计算从应用到接收自所述一个或更多个扫描检验工具的一个或更多个信号的一种或更多种分类规则的应用确定的一个或更多个样本的一种或更多种缺陷类型的种群与使用所述一个或更多个高分辨率的检验工具确定的所述一个或更多个样本的所述一种或更多种缺陷类型的种群之间的一个或更多个相关性。
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