[发明专利]物理量检测装置和物理量检测装置的控制方法、异常诊断系统和异常诊断方法

摘要

角速度检测装置(1)(物理量检测装置的一例)具有：陀螺仪传感器元件(100)(物理量检测元件的一例)，其使检测电极产生与角速度(物理量的一例)的大小对应的检测信号和基于驱动信号(矩形波电压信号22)的振动的泄漏信号；驱动电路(20)，其生成驱动信号；同步检波电路(350)，其根据与驱动信号同步的检波信号(34)，针对包含检测信号和泄漏信号的被检波信号(36)进行同步检波；以及相位变更电路(352)，其根据控制信号(64)，变更检波信号(34)的上升沿和下降沿中的至少一方相对于被检波信号(36)的相对定时，使得通过同步检波输出泄漏信号的至少一部分。

主权项

一种物理量检测装置，其检测预定的物理量，其特征在于，该物理量检测装置具有：物理量检测元件，其具有驱动电极和检测电极，根据提供给上述驱动电极的驱动信号而振动，由此，使上述检测电极产生与上述物理量的大小对应的检测信号和基于上述驱动信号的振动的泄漏信号；驱动部，其生成上述驱动信号；同步检波部，其根据与上述驱动信号同步的检波信号，针对包含上述检测信号和上述泄漏信号的被检波信号进行同步检波；以及定时变更部，其根据控制信号，变更上述检波信号的上升沿和下降沿中的至少一方相对于上述被检波信号的相对定时，使得通过同步检波输出上述泄漏信号的至少一部分。