[发明专利]物理量检测装置和物理量检测装置的控制方法、异常诊断系统和异常诊断方法

权利要求书

1.一种物理量检测装置，其检测预定的物理量，其特征在于，该物理量检测装置具有：

物理量检测元件，其具有驱动电极和检测电极，根据提供给上述驱动电极的驱动信号而振动，由此，使上述检测电极产生与上述物理量的大小对应的检测信号和基于上述驱动信号的振动的泄漏信号；

驱动部，其生成上述驱动信号；

同步检波部，其根据与上述驱动信号同步的检波信号，针对包含上述检测信号和上述泄漏信号的被检波信号进行同步检波；以及

定时变更部，其根据控制信号，变更上述检波信号的上升沿和下降沿中的至少一方相对于上述被检波信号的相对定时，使得通过同步检波输出上述泄漏信号的至少一部分。

2.根据权利要求1所述的物理量检测装置，其特征在于，上述定时变更部根据上述控制信号，变更上述检波信号与上述被检波信号的相位差。

3.根据权利要求1或2所述的物理量检测装置，其特征在于，上述定时变更部根据上述控制信号，变更上述检波信号的占空比。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的物理量检测装置，其特征在于，上述定时变更部能调整上述相对定时的变更量。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的物理量检测装置，其特征在于，上述物理量检测装置具有异常判定部，该异常判定部根据上述同步检波部的输出信号判定该物理量检测装置有无异常。

6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的物理量检测装置，其特征在于，上述物理量是角速度。

7.一种物理量检测装置的异常诊断系统，其特征在于，该异常诊断系统具有：

权利要求1～6中的任意一项所述的物理量检测装置；以及

异常诊断装置，其向该物理量检测装置提供上述控制信号，接收该物理量检测装置根据上述同步检波部的输出信号而生成的信号，根据该信号诊断该物理量检测装置的异常。

8.一种物理量检测装置的控制方法，该物理量检测装置具有：

物理量检测元件，其具有驱动电极和检测电极，根据提供给上述驱动电极的驱动信号而振动，由此，使上述检测电极产生与预定的物理量的大小对应的检测信号和基于上述驱动信号的振动的泄漏信号；

驱动部，其生成上述驱动信号；以及

同步检波部，其根据与上述驱动信号同步的检波信号，针对包含上述检测信号和上述泄漏信号的被检波信号进行同步检波，

其特征在于，该控制方法具有如下步骤：

使该物理量检测装置变更上述检波信号的上升沿和下降沿中的至少一方相对于上述被检波信号的相对定时来进行同步检波，使得输出上述泄漏信号的至少一部分；以及

使该物理量检测装置根据上述同步检波部的输出信号生成与上述泄漏信号对应的信号。

9.一种物理量检测装置的控制方法，该物理量检测装置具有：

物理量检测元件，其具有驱动电极和检测电极，根据提供给上述驱动电极的驱动信号而振动，由此，使上述检测电极产生与预定的物理量的大小对应的检测信号和基于上述驱动信号的振动的泄漏信号；

驱动部，其生成上述驱动信号；以及

同步检波部，其根据与上述驱动信号同步的检波信号，针对包含上述检测信号和上述泄漏信号的被检波信号进行同步检波，

其特征在于，该控制方法具有如下步骤：

使该物理量检测装置变更上述检波信号的上升沿和下降沿中的至少一方相对于上述被检波信号的相对定时来进行同步检波，使得输出上述泄漏信号的至少一部分；以及

使该物理量检测装置根据上述同步检波部的输出信号判定该物理量检测装置有无异常。

10.一种物理量检测装置的异常诊断方法，该物理量检测装置具有：

物理量检测元件，其具有驱动电极和检测电极，根据提供给上述驱动电极的驱动信号而振动，由此，使上述检测电极产生与预定的物理量的大小对应的检测信号和基于上述驱动信号的振动的泄漏信号；

驱动部，其生成上述驱动信号；以及

同步检波部，其根据与上述驱动信号同步的检波信号，针对包含上述检测信号和上述泄漏信号的被检波信号进行同步检波，

其特征在于，该异常诊断方法具有如下步骤：

使该物理量检测装置变更上述检波信号的上升沿和下降沿中的至少一方相对于上述被检波信号的相对定时来进行同步检波，使得输出上述泄漏信号的至少一部分；

使该物理量检测装置根据上述同步检波部的输出信号生成与上述泄漏信号对应的信号；以及

根据与上述泄漏信号对应的信号，诊断该物理量检测装置的异常。