[发明专利]邻近头的表面形貌改变有效
| 申请号： | 201080021391.5 | 申请日： | 2010-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN102427891A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 恩里科·马尼;罗伯特·J·奥唐奈;杰弗里·J·法伯 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在一种例示的实施方式中，一种加湿系统包括邻近头和基片(例如，半导体晶片)载体。所述邻近头配置为导致弯液面中的水流体流流过所述邻近头的表面。所述邻近头的表面通过所述流与基片的表面连接。所述头的表面是由具有限制、保持和/或促进所述流的表面形貌改变的非活性材料(例如，热塑性)组成的。所述表面形貌改变可以是用圆锥形划线器(例如，带有金刚石或碳化硅尖)直接刻制在表面上，或使用模板熔化印刷在表面上。这些改变可能会导致半芯吸或超疏水性。所述载体使所述基片的表面接触所述流。 | ||
| 搜索关键词： | 邻近 表面 形貌 改变 | ||
【主权项】：
一种装置，其包括：邻近头，其被配置为导致弯液面中的水流体流流过所述邻近头的表面，其中所述邻近头的所述表面通过所述流与基片表面连接，并且其中所述邻近头的所述表面是由具有变更所述流的表面形貌改变的材料组成的；和用于所述基片的使所述基片表面与所述流接触的载体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司，未经朗姆研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080021391.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
