[发明专利]具有格栅作为中间电极的RF MEMS开关有效
| 申请号： | 201080019992.2 | 申请日： | 2010-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN102422373A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 皮特·杰拉德·斯普内肯;希尔柯·瑟伊;罗尔多夫·赫图斯特;特温·范利庞 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电容性MEMS器件，包括：第一电极，处于平面中；以及第二电极，悬挂于第一电极的上方并且能够相对于第一电极移动。第一电极用作致动电极。在第一电极和第二电极之间存在间隙。第三电极位于第一电极和第二电极之间，间隙在第三电极和第二电极中间。第三电极中具有一个或多个孔，所述一个或多个孔优选被排列为有序阵列或不规则阵列。本发明的一方面集成了导电格栅(例如金属格栅)作为中间(或第三)电极。本发明的一个优点在于能够减小现有技术中的至少一个问题。该优点使得能够对开关的拉入电压和释放电压进行独立控制。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 格栅 作为 中间 电极 rf mems 开关 | ||
【主权项】：
一种电容性MEMS器件，包括：第一电极，处于平面中；第二电极，悬挂于第一电极的上方并且能够相对于第一电极移动；间隙，存在于第一电极和第二电极之间；第三电极，位于第一电极和第二电极中间，所述间隙在第三电极和第二电极之间，其中，第三电极中具有多个第一孔。
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