[发明专利]用于音频设备的MEMS换能器无效
| 申请号： | 201080018814.8 | 申请日： | 2010-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN102415108A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 特温·范利庞;格特·兰格雷斯;约瑟夫·卢茨;希尔柯·瑟伊;卡斯·范德阿沃尔特;安德烈亚斯·B·M·扬斯曼 | 申请（专利权）人： | 楼氏电子亚洲有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吕雁葭 |
| 地址： | 新加*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 一种用于音频设备的MEMS换能器(10)，包括：基板(12)、附接到所述基板(12)的膜(14)和附接到所述基板(12)的背电极(18)，其中所述背电极(18)的谐振频率与所述膜(14)的谐振频率相匹配。另外，一种用于音频设备的MEMS换能器(19)的制造方法，包括：将膜附接到基板(12)上，将背电极(18)附接到所述基板(12)上，将所述背电极(18)的谐振频率所述膜(14)的谐振频率相匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 音频设备 mems 换能器 | ||
【主权项】：
一种用于音频设备的MEMS换能器，所述MEMS换能器包括：基板(12)，膜(14)，附接到所述基板(12)，和背电极(18)，附接到所述基板(12)，其中，所述背电极(18)的谐振频率与所述膜(14)的谐振频率匹配。
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