[发明专利]用于音频设备的MEMS换能器无效
| 申请号： | 201080018814.8 | 申请日： | 2010-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN102415108A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 特温·范利庞;格特·兰格雷斯;约瑟夫·卢茨;希尔柯·瑟伊;卡斯·范德阿沃尔特;安德烈亚斯·B·M·扬斯曼 | 申请（专利权）人： | 楼氏电子亚洲有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吕雁葭 |
| 地址： | 新加*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 音频设备 mems 换能器 | ||
1.一种用于音频设备的MEMS换能器，所述MEMS换能器包括：
基板(12)，
膜(14)，附接到所述基板(12)，和
背电极(18)，附接到所述基板(12)，
其中，所述背电极(18)的谐振频率与所述膜(14)的谐振频率匹配。
2.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中所述背电极(18)的刚度适合于使得所述背电极(18)的谐振频率与所述膜(14)的谐振频率匹配。
3.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中所述背电极(18)的质量和/或应力适合于使得所述背电极(18)的谐振频率与所述膜(14)的谐振频率匹配。
4.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中所述背电极(18)的外边缘(28)与所述背电极(18)的中间部分(26)相比变薄。
5.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中在所述背电极(18)的外边缘(28)中设置有一个或多个开口(32)。
6.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中所述背电极(18)的至少中间部分(26)的厚度(tbe，c)是均匀的。
7.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中所述背电极(18)的中间部分(26)的直径(dbe，i)是所述膜(14)的直径(dm)的至少90％。
8.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中在所述背电极(18)的中间部分(26)中设置有孔(24)，其中所述孔占用的面积小于所述背电极(18)的中间部分(26)的面积的25％。
9.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中在所述基板(12)和所述背电极(18)之间设置有悬置件(34)，其中该悬置件(34)适用于使得所述背电极(18)的谐振频率与所述膜(14)的谐振频率匹配。
10.根据权利要求9所述的MEMS换能器，其中所述背电极(18)和所述悬置件(34)包括相同的材料。
11.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中所述悬置件(34)至少部分地沿着所述背电极(18)的周线布置，并连接所述基板(12)和背电极(18)。
12.根据权利要求9所述的MEMS换能器，其中所述悬置件(34)设计为以放射状方式从所述背电极(18)延伸的直的弹簧臂(36)。
13.根据权利要求9所述的MEMS换能器，其中所述悬置件(34)设计为以匹配所述背电极(18)的周线形状的方式延伸的弹簧臂(36)。
14.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中所述膜(14)的谐振频率与所述背电极(18)的谐振频率之间的差异少于20％，优选地少于5％，进一步优选地少于1％。
15.根据权利要求1所述的MEMS换能器，适用于MEMS麦克风或MEMS扬声器。
16.一种制造用于音频设备的MEMS换能器的方法，所述方法包括：
将膜(14)附接到基板(12)上，
将背电极(18)附接到所述基板(12)上，
将所述背电极(18)的谐振频率与所述膜(14)的谐振频率匹配。
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